BALLUFF傳感器是工業實踐中常用的一種傳感器，廣泛用于各種工業自控環境，涉及水利水電、鐵路交通、生產自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、管道等眾多行業。一般是指將變化的壓力信號轉換成對應變化的電阻信號或電容信號的敏感元件，如壓阻元件、壓容元件等。

 

　　BALLUFF傳感器是目前應用廣泛的一種產品。傳統的傳感器以機械結構型的器件為主，利用壓電效應把彈性體的形變轉換成對應壓力的大小。隨著半導體技術和MEMS技術的發展，其性能得到大幅提高，不僅體積小、質量輕、功耗小，而且精度、穩定性、可靠性更高，這也大大擴展了它的應用市場。它主要是為了解決高溫環境下各種氣體、液體壓力的測量，廣泛用于鍋爐、管道、高溫反應容器內的壓力、井下壓力和各種發動機腔體內的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領域壓力的測量。這些領域中傳感器都處于高溫環境條件下工作，使得傳感器的放大電路工作很容易失效，這也是高溫壓力傳感器設計的難點。理想的解決辦法就是將傳感器件與放大電路相分離，其中傳感器件由MEMS工藝來實現，信號激勵與信號處理由計算機來完成。

 

　　現在研究比較多的傳感器主要有SOS、SOI、SiO2、Poly2Si等半導體傳感器，還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。與傳統的壓阻式壓力傳感器相比，半導體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩定性好、功耗小等優點，而且流量計只對壓力敏感，對應力不敏感，所以，電容式壓力傳感器在許多領域得到廣泛應用。